磁控濺射是利用磁場增強的濺射效應(yīng)來制備薄膜的一種物理氣相沉積（PVD）方法。其基本原理是通過電場將離子加速，撞擊靶材表面，導(dǎo)致靶材原子或分子濺射出來，并沉積到基片表面形成薄膜。磁控濺射的優(yōu)點包括較高的沉積速率、較好的薄膜均勻性及較強的附著力。
1.靶材與基片的布置
在小型磁控濺射儀中，靶材和基片的布置方式至關(guān)重要。靶材通常由金屬或合金制成，而基片則可以是玻璃、硅片、金屬等。靶材與基片之間的距離需精確控制，以確保薄膜的均勻沉積。
2.磁場的作用
磁控濺射中采用的磁場通常由一個或多個磁體提供，磁場能夠使電子在靶材附近形成螺旋軌跡，這樣能顯著增加電子的碰撞頻率，提高濺射效率。磁場的設(shè)計需要考慮靶材的形狀、功率以及沉積需求。
3.濺射過程
在電場的作用下，氬氣等惰性氣體被離子化，生成正離子。正離子被加速后撞擊靶材，導(dǎo)致靶材的原子被擊出，隨后這些原子通過氣相擴散沉積到基片表面，形成薄膜。
4.控制系統(tǒng)
通常配有精密的控制系統(tǒng)，以調(diào)節(jié)濺射過程中的電流、電壓、氣體流量和沉積時間。這些參數(shù)的精確控制能夠有效影響薄膜的厚度、結(jié)構(gòu)和質(zhì)量。
薄膜制備小型磁控濺射儀的設(shè)計要素：
1.靶材和基片的選擇
根據(jù)所需的薄膜材料，靶材的選擇至關(guān)重要。例如，鋁、銅、鈦等金屬材料適用于金屬薄膜的沉積，而氧化鋁、氮化硅等則適用于絕緣層的制備。
2.磁場強度的調(diào)節(jié)
磁場的強度影響著電子的路徑和濺射的效率。在小型磁控濺射儀中，通常需要根據(jù)靶材的種類和沉積要求來調(diào)節(jié)磁場的強度，以達(dá)到最佳的濺射效果。
3.沉積室設(shè)計
沉積室需要具備真空環(huán)境，以減少氣體分子對薄膜的污染。在設(shè)計小型磁控濺射儀時，通常采用高真空泵系統(tǒng)，保證沉積過程中的低壓力環(huán)境。此外，沉積室的大小和結(jié)構(gòu)也會影響氣體流動和薄膜質(zhì)量。
4.真空系統(tǒng)和氣體流量控制
為了確保濺射過程在真空環(huán)境下進(jìn)行，小型磁控濺射儀需要配備高效的真空泵。氣體流量控制系統(tǒng)用于調(diào)節(jié)惰性氣體的供應(yīng)，以保證適當(dāng)?shù)碾x子化率，影響濺射效率。
5.溫控系統(tǒng)
溫度對薄膜的質(zhì)量有重要影響。溫控系統(tǒng)通常用于調(diào)節(jié)基片的溫度，以防止過高或過低的溫度對薄膜質(zhì)量造成負(fù)面影響。
6.沉積速率控制
沉積速率的控制是通過調(diào)節(jié)電流、電壓以及氣體流量等參數(shù)來實現(xiàn)的。通過優(yōu)化這些參數(shù)，可以控制薄膜的厚度和均勻性。
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